苏州某半导体器件基带芯片手工制作加工厂,晶圆制作加工时候中行成含硅、氟的特色生活污水,构思正确工作规模较1200吨/日。生活污水成份非常复杂,具有刺激性納米级硅颗粒剂及氢氧化钠,传统化正确工作做法未能达到。
工业废水组成成分及由来
基本环境有害物质
:溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
来历制作工艺
:晶圆刻蚀污废水处理方法 (45%)、CMP化工机械性增加光泽污废水处理方法 (40%)、设配擦拭水(15%)
处里生产技术步骤流程
科学创新利用"催化奠定+特殊工种膜分离法"技术水平路线规划:
钙盐水解
:污泥脱水氯化钙清掉氟阴阳离子(转成CaF2石雕文化沉淀)
二沉池现象
:复合型水解酸化池剂体现电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜截流微细小粒
反加入设计
:脱盐率>98%,回报率75%
多效蒸发晶粒
:浓水段满足氟化物零废气
从而郊果
氟化物渗透压:<8mg/L(远低于政府三级标10mg/L)
硅含量的:<5mg/L
水土资源性造纸废水处理率:70%用来封闭式冷却塔塔保湿补水
危险废物减轻:蒸馏渣子量较经典技术才能减少60%