某半导体芯片生产行业因晶圆除垢工艺流程引发含氨废水治理,蓄水量200吨/天。废水治理中除氯离子外还包含氟化物和进样器巨资属,治理难易大。地区污染物标准必须氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生活污水有效成分及由来
晶圆除垢污废水 (包括起源):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀道工序生活污水:含轻微铜、镍等血本属,pH值动荡大
CMP精磨生活污水:含硅粉末及氟化物
加工施工工艺注意事项
通过"化学上沉定+膜离心分离+折点氯化"组合成加工制作工艺 :
处理过程
:添加CaCl2除氟,管理pH在7.5-8.
超滤膜系統
:快速清理0.01μm以内粒子物
反进行渗透浸提
:将氟化物原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L往上
折点氯化
:透彻操纵氯加药量,将高锰酸盐指数有效的转化为氦气
铝离子互换
:服务保障高价属未达标
决定性功能
氧化还原电位比较稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属含磷量压低检测工具限
水使用率达75%
淤泥引起量才能减少40%