某半导体技术厂在工作进程中用到氯化铵系成像液,带来高酸度含NOx废水净化处理方法,日工作量50吨。废水净化处理方法中含NO2-高达mg2000mg/L,且含带轻微巧妙光刻胶物质,净化处理高难度很大。
2. 生活污水组成及因素
成像多种工序废渣(一般污染破坏源)
晶圆擦洗生活污水
废液洗衣机清洗塔排水沟
3. 加工的工艺操作流程
按照"高阶腐蚀+有级菌物办理"创新发展流程:
二空气氧化碳空气氧化
:实现臭氧的危害时有所产生器所产生O3,将难挥发有机质物进行分解为小碳原子物,也将NO2-钝化为NO3-。
动物膜反响器(MBR)
:
首先级:美丽水世界环保下添加甲醇做为碳源,力促反反硝化细菌反應
第二个级:好氧生物技术膜进步骤降解塑料有机的物
电电化学分析深层处理
:利用钛基纳米涂层电级,确认电解抛光意义彻彻底底溶解残留污染源物。
4. 终于疗效
NOx总氮高于8mg/L这
COD可靠在30mg/L连加连减
电镀废水回收利用率达60%
平台操作耗电率保持在3.5kWh/吨水,较传统化工艺设计高效20%。