产品原型
某新型半导体设备会造成商家地属长角形东南部,首要生产加工制造晶圆和集成电路芯片。在生产加工制造的过程中,晶圆打孔和打磨第一阶段会造成很大机磨液化工废水,每日产生量约50吨。根据化工废硫酸铜溶液有高密度浮悬物、轻金属正离子及有机酸生成剂,简单产生会对环保会造成频发感染,商家急缺构建专门办理场地设施。
生产废水材质及源头
考虑液废污水最主耍起来自于晶圆粗加工中的化学上设备磨光(CMP)工艺流程,最主耍环境工业废气分为:
浮悬颗粒剂物
:二阳极空气氧化硅、阳极空气氧化铁等碾磨颗粒物,粒级在0.1-1μm,酸度达2000mg/L。
金属质亚铁离子
:铜、铁、锌等,出自打蜡 垫刹车盘磨损及晶圆外壁合金金属层,铜铝离子密度约50mg/L。
充分填加剂
:涉及界面吸附性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性类物质
:pH值震荡大,大多数在2-11相互之间。
正确处理生产工艺鑫霖环保
面对污废水 性能特点,适用“预正确工作+生化模式+深层次正确工作”搭配工艺技术:
调结池
:平衡水硬度储水量,获取酸性设定pH至弱酸性。
混凝土沉淀出的
:污泥脱水PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),删去悬停物和胶体溶液,沉降后SS删去率>90%。
催化剂的作用脱色
:用于Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解有机质使用剂,COD取除率达60%。
生物学处置
:MBR膜生物工程响应器进一个步骤分解其他可挥发物,COD降落到100mg/L以内。
阴离子变换
:专用型光敏树脂溶解铜阳离子,溢水铜成分<0.5mg/L。
砂滤+可溶性炭净化
:有效确保喷水清清的,达成《废污水总体的排放要求》(GB8978-1996)6级要求。
既定成效
程序正常运作不稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
使用率达40%,余量符合标准排卸标准,年减轻污废水 排卸标准1.八万吨。
工作资金约15元/吨,远超过相关行业平均的。